La camera pulita si riferisce alla rimozione di particelle, aria dannosa, batteri e altri inquinanti nell'aria in un certo spazio, e il controllo della temperatura interna, della pulizia, della pressione interna, della velocità dell'aria e della distribuzione dell'aria, del rumore, delle vibrazioni, dell'illuminazione e della statica Elettricità in una certa gamma di esigenze e data una camera appositamente progettata . Questo . è dire, non importa Come Le condizioni d'aria esterne cambiano, la stanza può mantenere i requisiti di impostazione originale della pulizia, della temperatura, dell'umidità e della pressione. La funzione principale della stanza pulita è controllare la pulizia, la temperatura e l'umidità dell'atmosfera che i prodotti (tali come chip di silicio, ecc.) contatto, in modo che i prodotti possano essere prodotti e realizzati in un buon ambiente ambientale Questo . Lo spazio è chiamato pulito stanza.

Uno. Indicatori di pulizia Stanza.

1. . L'alimentazione dell'aria nella stanza pulita è sufficiente per diluire o eliminare l'inquinamento generato nella stanza stanza.

2. . L'aria nella stanza pulita scorre dall'area pulita all'area con poveri pulizia. Il flusso di aria contaminata raggiunge il livello più basso, e l'aria scorre nella direzione corretta alla porta e nell'interno edificio.

3. . L'alimentazione dell'aria nella stanza pulita non aumenterà in modo significativo l'interni inquinamento.

4. . Lo stato del movimento dell'aria interna può assicurarsi che non vi sia un'area di raccolta ad alta concentrazione nel segreto Stanza.

Due.clean . Camera Test.

1. . Fornitura d'aria e aria di scarico Volume: Se . È una camera pulita turbolenta, l'alimentazione d'aria e il volume dell'aria di scarico devono essere misurati. Se . È una stanza pulita di flusso a senso unico, la velocità del vento deve essere misurata.

2. . Controllo del flusso d'aria tra ciascuna serie: Per dimostrare che la direzione del movimento del flusso d'aria tra ogni zona è corretta, cioè, scorre dall'area pulita all'area con scarsa pulizia, è necessario controllare:

(1) La differenza di pressione in ogni sezione è corretta;

( . 2) La direzione del movimento dell'aria sulla soglia o sulle aperture sul muro, il pavimento, ecc. È corretto, cioè, scorre dall'area pulita all'area con scarsa pulizia.

3. . Filtro perdite Rilevazione: L' ad alta efficienza Filtro e il suo telaio Dovrebbe essere ispezionato per garantire che gli inquinanti sospesi non passino attraverso: (1) danneggiato filtro; (2) Il divario tra il filtro e il suo telaio;

(3) Altre parti del dispositivo del filtro invadono il Stanza.

4. . Perdita di isolamento Rilevazione: Questo . Il test è quello di dimostrare che gli inquinanti sospesi non penetrano i materiali da costruzione nella stanza pulita .

5. . Flusso d'aria indoor Controllo: Il tipo di test di controllo del flusso d'aria dipende dalla modalità flusso d'aria del pulito room-turbolente flusso o unidirezionale flusso. Se . Il flusso d'aria nella stanza pulita è turbolento, deve essere verificato che non esiste un'area con un flusso d'aria insufficiente nel stanza. Se . È una stanza pulita di flusso a senso unico, deve essere verificato che la velocità del vento e la direzione dell'intera stanza soddisfano il design Requisiti.

6. . Concentrazione di particelle sospese e microbica Concentrazione: Se . I test di cui sopra soddisfano i requisiti, la concentrazione di particelle e la concentrazione microbica (quando necessario) sono finalmente misurati per verificare che loro soddisfare le condizioni tecniche della camera bianca Design.

7. . Altro Test: Oltre ai suddetti test di controllo dell'inquinamento sopra menzionato, a volte uno o più dei seguenti test devono essere effettuati Out: Temperatura, umidità relativa, riscaldamento interno e capacità di raffreddamento, valore del rumore, intensità della luce, valore di vibrazione

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