(a) principio di divisione del sistema di purificazione dell'aria condizionata

1. La pulizia, la temperatura, l'umidità e la sua accuratezza della stessa o di una simile stanza pulita dovrebbero essere suddivise in un sistema di condizionamento dell'aria di purificazione. Facile controllo della pulizia, della temperatura e dell'umidità. 2. Le camere bianche vicine tra loro dovrebbero essere classificate come un sistema, il che può ridurre la lunghezza delle tubazioni del sistema e gli incroci delle tubazioni.

3. Quando le condizioni lo consentono, il sistema di condizionamento dell'aria con purificazione a flusso misto può essere composto da 4, 5 flussi unidirezionali e da 6, 7 e 8 flussi non unidirezionali.

4. La stanza bianca non deve essere combinata con la stanza di condizionamento generale come sistema unico.

5. Utilizzare la legge e il tempo di utilizzo non sono gli stessi poiché la camera bianca non è adatta per un sistema di purificazione dell'aria condizionata.

6. La produzione di polvere, calore, sostanze nocive, rumore, ecc. devono essere progettati come un sistema separato.

7. Gli ambienti altamente tossici che, una volta miscelati, possono causare incendi ed esplosioni non devono essere uniti in un unico sistema di purificazione dell'aria condizionata.

8. Ci sono sostanze altamente tossiche, infiammabili ed esplosive nella stanza a, b dovrebbe esserci un sistema separato e non dovrebbe tornare il sistema dc dell'aria.

9. Un sistema di purificazione dell'aria condizionata non può essere troppo grande. In generale, il volume di mandata dell'aria di purificazione non dovrebbe superare i 100.000 m; in caso contrario, l'apparecchiatura di trattamento dell'aria è troppo grande, rumorosa, il condotto di ritorno dell'aria è grande, occupa molto spazio e area e l'uso non è flessibile.

10. La divisione del sistema di condizionamento dell'aria pulita dovrebbe inoltre considerare la disposizione dei condotti dell'aria, dei condotti di ritorno, dei condotti di scarico e delle condutture idriche, elettriche, del gas e di altri gasdotti, per quanto possibile, per realizzare una gestione ragionevole, breve e facile da usare, riducendo intersezioni e sovrapposizioni.

11. Il trattamento termico, di umidità e di purificazione dell'aria fresca nel sistema di condizionamento può essere centralizzato o decentralizzato

Il principio di divisione del sistema di scarico locale dell'aria delle apparecchiature di processo

1. Il sistema di scarico parziale dell'aria dell'apparecchiatura di processo non deve essere troppo grande e i punti di scarico di ciascun sistema di scarico dell'aria non devono essere troppo grandi, in modo che la gestione e la regolazione dell'aria di scarico siano comode e l'effetto dell'aria di scarico sia buono.

2. Un sistema di scarico dell'aria non deve attraversare due o più sistemi di purificazione dell'aria condizionata.

3. L'aria di scarico che, dopo la miscelazione, produce sostanze altamente tossiche, esplosive, infiammabili, condensate, cristallizzate e nocive, non deve essere convogliata in un unico sistema di scarico dell'aria.

4. L'aria di scarico di stanze e apparecchiature diverse non deve essere convogliata in un unico sistema di scarico dell'aria.

5. Confronto e selezione del tipo di alimentazione dell'aria del sistema di condizionamento dell'aria per la purificazione della camera bianca

(a) tipo di fornitura d'aria combinata per la purificazione e l'aria condizionata, solitamente noto anche come tipo di fornitura d'aria centralizzata. Lo schema delle unità di purificazione dell'aria condizionata (unità di trattamento aria AHU) è impostato nella stanza di condizionamento dell'aria, la purificazione di tutta l'aria di mandata dell'aria condizionata è stata condotta nell'unità di purificazione dell'aria condizionata e nell'elaborazione a caldo e umido, e il grande condotto dell'aria di mandata fornirà tutta l'aria alla parte superiore del condoglio della stanza bianca, il ripasso si trova nel soffitto della camera bianca sul filtro HEPA terminale o sui filtri efficienti per pulire l'uscita dell'aria interna filtrata, per realizzare il processo di camera bianca temperatura richiesta, umidità, pulizia e differenza di pressione della stanza, L'aria di ritorno nella camera bianca passa attraverso la presa d'aria di ritorno e il relativo condotto, per poi essere collegata all'unità di purificazione dell'aria nella sala di condizionamento. Dopo la miscelazione con l'aria fresca, la purificazione dell'aria e il trattamento termico e di umidità vengono ripetuti. Questo schema può essere suddiviso in uno schema di fornitura completa di aria fresca (sistema a corrente continua); Un programma di ritorno dell'aria; Il primo e il secondo schema di ritorno dell'aria e gli schemi MAU più FFU sono quattro diversi tipi di fornitura d'aria. Questo schema di fornitura d'aria è quello più ampiamente utilizzato per le camere bianche, in particolare quelle con flusso non unidirezionale. La suddivisione del sistema di questo schema di fornitura d'aria è chiara e il controllo e la regolazione del volume d'aria, della temperatura e dell'umidità sono unici. Tuttavia, quando il livello di pulizia è più elevato e il volume di mandata dell'aria è maggiore, la stanza di condizionamento occupa un'area ampia, il volume del tubo di mandata e di ritorno dell'aria occupa un'area e uno spazio ampi, il tubo di mandata e di ritorno dell'aria è lungo, la pressione residua della ventola di mandata dell'aria è elevata, il rumore è elevato e la mandata dell'aria consuma una grande quantità di elettricità. Pertanto, questo schema di fornitura d'aria è più adatto per la fornitura d'aria della camera bianca con flusso non unidirezionale al livello inferiore, mentre è meno economico e ragionevole per la fornitura d'aria della camera bianca con flusso unidirezionale al livello superiore 5.

1. Schema di alimentazione dell'aria dell'UTA con aria fresca (sistema a corrente continua)

Lo schema di fornitura di aria completamente purificata dall'aria fresca viene utilizzato in speciali schemi di fornitura di aria per camere bianche in cui non è consentita aria di ritorno. Ad esempio, il processo di produzione in camera bianca è classificato come rischio di incendio di classe A e di classe B oppure il processo produce sostanze altamente tossiche e altre sostanze nocive che non possono essere reimmesse nell'aria nel sistema di fornitura di aria pulita.

2. Schema di alimentazione dell'aria di ritorno dell'aria primaria dell'UTA

Lo schema di fornitura d'aria del ritorno dell'aria primaria è solitamente utilizzato nella camera bianca con elevato potere calorifico o resa di umidità, e la fornitura d'aria del calore residuo o dell'umidità interna è maggiore, uguale o vicina alla fornitura d'aria di purificazione nella camera bianca con flusso non unidirezionale con basso grado di pulizia.

3. Schema di alimentazione dell'aria di purificazione dell'aria condizionata con ritorno dell'aria primaria e secondaria dell'UTA

Per risparmiare energia, eliminare il calore dell'aria e il calore nel processo di trattamento termico e dell'umidità si compensano a vicenda, nella capacità di fornitura d'aria di purificazione della camera bianca è maggiore della capacità di fornitura d'aria del condizionamento dell'aria per eliminare il calore e l'umidità residui, è meglio utilizzare il primo e il secondo programma di ritorno dell'aria, il secondo punto di miscelazione progettato nel punto di fornitura dell'aria del sistema, questo lato è il programma di fornitura d'aria più economico e con il maggior risparmio energetico.

4.Schema di fornitura d'aria MAU+RAU per la purificazione dell'aria condizionata

Questa soluzione per molteplici requisiti di pulizia, temperatura, umidità e umidità della camera bianca, la resa del calore interno e il contenuto di umidità sono simili, al fine di garantire che ciascuno dei requisiti di pulizia, temperatura, umidità e precisione della camera bianca, per impostare unità a ciclo multiplo, l'uscita dell'aria circolare dell'unità serve a purificare l'uscita dell'aria e, all'interno dell'unità, impostare il calore necessario, l'apparecchiatura di lavorazione a umido, utilizzata per integrare la carenza di calore dell'unità di aria fresca, il processo a umido e garantire che la temperatura della camera bianca e la sezione di regolazione fine dell'umidità siano precise. Poiché l'unità di circolazione è posizionata sul soffitto della camera bianca, la pressione residua dell'aria di alimentazione dell'unità di circolazione è relativamente piccola, anche il volume dell'unità, il rumore e le vibrazioni dell'unità sono ridotti e il condotto di ritorno dell'aria è relativamente corto. Tuttavia è necessario prestare attenzione allo scarico della condensa dell'unità di circolazione. Le unità di aria fresca di questo schema sono situate nella stanza di condizionamento dell'aria e tutta l'aria fresca necessaria per queste stanze bianche viene purificata dalle unità di aria fresca (MAU) e dal trattamento centralizzato di calore e umidità. Viene poi distribuito a ciascuna unità del ciclo e miscelato con l'aria di ritorno. Il volume di aria fresca dell'unità di aria fresca non deve solo integrare l'aria di scarico di ogni stanza bianca, ma deve anche garantire la pressione positiva di ogni stanza bianca. Il trattamento termico e igrometrico dell'unità di aria fresca dovrebbe essere effettuato al punto di rugiada meccanico dell'aria in una camera bianca. Se il punto di trattamento termico e igrometrico dell'aria fresca è inferiore al punto di rugiada meccanico della camera bianca, l'aria fresca non solo sopporterà il carico umido dell'aria fresca stessa, ma eliminerà anche il carico umido della camera bianca. A questo punto, il raffreddatore di superficie nell'unità di circolazione può essere un raffreddatore di superficie secco.

Lo schema di purificazione dell'aria di mandata e di separazione dell'aria di mandata dall'aria condizionata è solitamente chiamato schema di purificazione dell'aria di mandata semi-centralizzato o decentralizzato. Per ridurre notevolmente il consumo energetico durante il funzionamento, si eliminerà il calore residuo interno e l'aria condizionata umida in uscita (solitamente molto inferiore a quella della camera bianca per purificare l'aria in uscita), tramite l'unità di condizionamento dell'aria (MAU) necessaria per purificare e trattare l'aria a caldo e a umido, e il totale dal 50 al 90% della garanzia della purezza della camera bianca per purificare l'aria in uscita dalla camera bianca vicino all'unità di circolazione per purificare e trattare l'aria a caldo e a umido, oppure utilizzare direttamente la testa sulle unità filtro del ventilatore a soffitto) e la serpentina asciutta per risolvere il livello di pulizia e la temperatura della camera bianca per una messa a punto precisa. Questo schema di fornitura dell'aria, separato dalla fornitura dell'aria tramite aria condizionata, non solo consente di risparmiare energia per il funzionamento, ma anche di ridurre notevolmente l'area della stanza di condizionamento dell'aria, risparmiare l'enorme tubazione di mandata e ritorno dell'aria e ridurre l'altezza dello spazio della camera bianca. Tale schema di fornitura di aria purificata può essere suddiviso in: schema di aggiunta di unità di filtro ventola (FFU) per unità di condizionamento dell'aria (UTA), schema di aggiunta di unità di ciclo (RAU) per unità di aria fresca (MAU) (FFU); Unità aria fresca (MAU) + unità filtro ventilatore (FFU) + tubo freddo secco

(DC) e altri tre schemi di fornitura d'aria.

1. Schema di alimentazione dell'aria delle unità di condizionamento dell'aria AHU (MAU) e delle unità filtro ventola (FFU): in questo schema, tutti i carichi di calore e umidità del sistema di condizionamento dell'aria (carichi di calore e umidità generati nella camera bianca e carichi di calore e umidità dell'aria fresca) sono sopportati dalle unità di condizionamento dell'aria situate nella sala di condizionamento dell'aria. In questa fase, l'alimentazione dell'aria dell'unità di condizionamento è quella necessaria per eliminare il calore residuo e l'umidità del sistema (inclusa tutta l'aria fresca e un po' di aria di ritorno, ma molto meno dell'alimentazione dell'aria di purificazione per garantire la pulizia della camera bianca) e dovrebbe essere in grado di garantire la temperatura e l'umidità relativa costanti della camera bianca. La pulizia della camera bianca è garantita da un'unità filtro ventola (FFU) sul soffitto della camera bianca, che fa circolare e filtra l'aria purificata in ingresso. In questo schema occorre tenere presente che il calore generato durante il funzionamento dell'FFU deve essere sopportato anche dall'unità di condizionamento dell'aria. Questo schema è più adatto per camere bianche a flusso misto con flusso unidirezionale verticale parziale in grandi camere bianche a flusso non unidirezionale.

2. Unità aria fresca (MAU) più unità ciclo (he) e unità filtro ventola (testa) per purificare lo schema di fornitura dell'aria di condizionamento dell'aria, questo schema per più pulizie della camera bianca, temperatura, umidità, requisiti diversi, la resa del calore interno e il contenuto di umidità sono anche simili, al fine di garantire che ciascuno dei requisiti di pulizia, temperatura, umidità e precisione della camera bianca, per impostare unità ciclo multiplo, l'uscita dell'aria circolare dell'unità serve a purificare l'uscita dell'aria e, all'interno dell'unità, impostare il calore necessario, l'apparecchiatura di lavorazione a umido, utilizzata per integrare la carenza di calore dell'unità aria fresca, il processo a umido e garantire che la temperatura della camera bianca e la sezione di regolazione fine dell'umidità siano precise. Poiché l'unità di circolazione è posizionata sul soffitto della camera bianca, la pressione residua dell'aria di alimentazione dell'unità di circolazione è relativamente piccola, anche il volume dell'unità, il rumore e le vibrazioni dell'unità sono ridotti e il condotto di ritorno dell'aria è relativamente corto. Tuttavia è necessario prestare attenzione allo scarico della condensa dell'unità di circolazione. Le unità di aria fresca di questo schema sono situate nella stanza di condizionamento dell'aria e tutta l'aria fresca necessaria per queste stanze bianche viene purificata dalle unità di aria fresca (MAU) e dal trattamento centralizzato di calore e umidità. Viene poi distribuito a ciascuna unità del ciclo e miscelato con l'aria di ritorno. Il volume di aria fresca dell'unità di aria fresca non deve solo integrare l'aria di scarico di ogni stanza bianca, ma deve anche garantire la pressione positiva di ogni stanza bianca. Il trattamento termico e igrometrico dell'unità di aria fresca dovrebbe essere effettuato al punto di rugiada meccanico dell'aria in una camera bianca. Se il punto di trattamento termico e igrometrico dell'aria fresca è inferiore al punto di rugiada meccanico della camera bianca, l'aria fresca non solo sopporterà il carico umido dell'aria fresca stessa, ma eliminerà anche il carico umido della camera bianca. A questo punto, il raffreddatore di superficie nell'unità di circolazione può essere un raffreddatore di superficie secco.

Quando più di uno nella camera bianca ha un numero di livello 1, 10, 100 di alto livello di purificazione della camera bianca verticale a flusso unilaterale, al fine di ridurre il carico dell'unità di circolazione (he) e di inviare e tornare alla sezione del condotto dell'aria, l'unità di circolazione risolve solo l'uscita dell'aria di condizionamento della camera bianca a flusso unilaterale, per garantire la temperatura della camera bianca, l'umidità relativa e la pressione positiva della camera bianca e per la maggior parte rappresenta oltre il 90% della consegna si trova nel soffitto della camera bianca pannelli sulla testa da caricare, per garantire l'elevato livello di pulizia della camera bianca. 3. L'unità di aria fresca (MAU) più l'unità di filtro della ventola (testa) e il tubo freddo secco (DC) del piano di fornitura dell'aria di purificazione dell'aria condizionata è l'aria fresca che l'equipaggio dell'aria fresca per pulire la stanza calda umida rispetto alla linea e all'umidità relativa inferiore al 95% di intersezione della linea, il carico di umidità dell'aria fresca dell'equipaggio non sarà solo se stesso, ma anche il carico di umidità interna pulita, le unità di aria fresca per garantire l'umidità relativa della stanza pulita necessaria. Il carico di raffreddamento a secco della parte insufficiente del trattamento termico dell'unità di aria fresca sarà integrato dal raffreddatore di superficie a secco posizionato sul soffitto della camera bianca (o nel tunnel). Poiché il raffreddatore del tavolo a secco è posizionato sul controsoffitto o nel tunnel attraverso il quale passa l'aria di circolazione FFU, il carico di raffreddamento a secco costituito dal raffreddamento del tavolo a secco viene trasportato nella camera bianca dall'aria di circolazione. L'aria fresca trattata dall'unità di aria fresca viene inviata alla scatola di pressione statica di alimentazione dell'aria nella camera bianca tramite tubazioni che possono essere miscelate in modo più uniforme con l'aria in circolazione dell'FFU. L'FFU è posizionato sul soffitto della camera bianca. L'aria circolante, miscelata con aria fresca, viene filtrata dall'FFU e inviata alla camera bianca dopo essere stata filtrata dal filtro HEPA per garantirne la pulizia. Le specifiche dell'FFU sono principalmente 1200 mm × 600 mm e 1200 mm × 1200 mm, la cui velocità del vento di sezione deve essere ≥ 0,45 m/s, la pressione residua deve essere ≥ 120 Pa e il rumore deve essere ≤ 50 dB (A). Il volume d'aria della ventola FFU deve essere regolabile e il filtro ad alta efficienza deve essere sostituibile. La batteria a freddo secco è generalmente composta da due file. Per ridurre la spaziatura tra le alette di alluminio della resistenza ≥3 mm, la perdita di carico dovrebbe essere di 30~40 Pa. La velocità del vento superficiale che circola attraverso la batteria a freddo secco è < 2 m/s, ed è preferibile che sia 1,5 m/s. La temperatura dell'acqua in ingresso nell'acqua fredda della serpentina secca deve essere 2℃ superiore alla temperatura del punto di rugiada della camera bianca, solitamente definita acqua mediamente refrigerata. Sebbene venga chiamata batteria a secco, durante il funzionamento iniziale potrebbe generarsi della condensa, per cui la batteria a secco deve essere dotata anche di una vaschetta di raccolta della condensa e di misure di drenaggio.

In questo schema, l'umidità relativa della camera bianca è garantita dall'unità di aria fresca (MAU), la temperatura della camera bianca è garantita dalla batteria fredda secca e la pulizia della camera bianca è garantita dall'FFU. Il piano di fornitura dell'aria condizionata MAU plus e purificazione dell'aria DC, attualmente nel nostro paese e all'estero, nell'industria microelettronica (IC), nell'industria optoelettronica (TFT - LCD, LCD, LED, ecc.) e così via in una vasta area, rende ampiamente disponibili officine pulite con un elevato grado di pulizia, con una regolazione conveniente, un notevole risparmio energetico, per adattarsi al processo di aggiornamento e un notevole risparmio di area non produttiva e dei vantaggi dello spazio non produttivo. Inoltre, grazie al continuo sviluppo e progresso di tecnologie e attrezzature pulite, l'efficienza dei ventilatori FFU viene costantemente migliorata, il consumo energetico viene costantemente ridotto e il prezzo complessivo viene costantemente ridotto. L'investimento iniziale è sostanzialmente lo stesso di altri tipi di sistemi di fornitura d'aria, ma i costi operativi vengono notevolmente ridotti.