a) purificazione del principio di divisione del sistema di condizionamento d'aria

1, la pulizia, la temperatura, l'umidità e la precisione della stessa o simile camera bianca devono essere suddivise in un sistema di condizionamento dell'aria di depurazione. facile da controllare pulizia, temperatura e umidità. 2. la camera bianca tra loro dovrebbe essere classificata come un sistema, che può ridurre la lunghezza delle tubazioni del sistema e l'attraversamento delle tubazioni.

3. quando le condizioni lo consentono, il sistema di condizionamento dell'aria di purificazione a flusso misto può essere composto da 4, 5 flussi unidirezionali e 6, 7 e 8 flussi non unidirezionali.

4, la camera bianca non dovrebbe essere combinata con la sala generale di aria condizionata come sistema.

5, utilizzare la legge e il tempo di utilizzo non è lo stesso della stanza pulita non è adatto per un sistema di condizionamento dell'aria di depurazione.

6, produzione di polvere, calore, sostanze nocive, stanza del rumore dovrebbe essere progettato come un sistema separato.

7. I locali altamente tossici che causano incendi ed esplosioni dopo la miscelazione non devono essere combinati in un unico sistema di condizionamento dell'aria di depurazione.

8, ci sono altamente tossici, infiammabili ed esplosivi a, b room dovrebbe essere un sistema separato e non dovrebbe restituire il sistema dc aria.

9, un sistema di condizionamento dell'aria di purificazione non è facile essere troppo grande. in generale, il volume di mandata dell'aria di purificazione non deve superare i 100.000 m; in caso contrario, l'attrezzatura per il trattamento dell'aria è troppo grande, rumorosa, il condotto dell'aria di ritorno è grande, occupa uno spazio e un'area ampi e l'uso non è flessibile.

10, la divisione del sistema di condizionamento dell'aria pulita dovrebbe anche prendere in considerazione il condotto dell'aria, il condotto di ritorno, il condotto di scarico e il layout di acqua, elettricità, gas e altri gasdotti, per quanto possibile per rendere una gestione ragionevole, breve e facile da usare, ridurre l'intersezione e sovrapposizione.

11. il trattamento termico, di umidità e di purificazione dell'aria fresca nel sistema di condizionamento dell'aria può essere centralizzato o decentralizzato

il principio di divisione del sistema locale dell'aria di scarico delle apparecchiature di processo

1. il sistema di aria di scarico parziale dell'attrezzatura di processo non dovrebbe essere troppo grande e i punti di aria di scarico di ciascun sistema di aria di scarico non dovrebbero essere troppo, in modo che la gestione e la regolazione dell'aria di scarico siano convenienti e l'effetto dell'aria di scarico sia buono .

2. un sistema di scarico dell'aria non deve attraversare due o più sistemi di condizionamento dell'aria di depurazione.

3. l'aria di scarico che produce sostanze altamente tossiche, esplosive, antincendio, di condensazione, di cristallizzazione e nocive dopo la miscelazione non deve essere combinata in un unico sistema di aria di scarico.

4. l'aria di scarico di locali e apparecchiature diversi non deve essere combinata in un unico sistema di aria di scarico.

5. confronto e selezione del tipo di alimentazione dell'aria del sistema di condizionamento dell'aria di depurazione delle camere bianche

a) tipo combinato di alimentazione dell'aria di purificazione e di condizionamento dell'aria, di solito noto anche come tipo centralizzato di alimentazione dell'aria. lo schema di depurazione delle unità di condizionamento dell'aria (unità di trattamento dell'aria ahu) impostato nella sala di condizionamento dell'aria, la purificazione di tutta l'aria condizionata di alimentazione di purificazione dell'aria sono state condotte nell'unità di condizionamento dell'aria di depurazione e il trattamento a caldo ea umido e il grande condotto dell'aria di mandata alimenterà tutta l'aria sulla parte superiore del condolo della camera bianca, il repass è situato nel soffitto della camera bianca sul filtro hepa terminale o su filtri efficienti per pulire l'uscita di alimentazione dell'aria interna filtrata, per realizzare il processo della camera bianca richiesto temperatura, umidità, pulizia e la differenza di pressione del camera, l'aria di ritorno nella camera bianca passa attraverso l'ingresso dell'aria di ritorno e il condotto dell'aria di ritorno, quindi viene collegata all'unità del condizionatore d'aria di depurazione nella stanza di condizionamento dell'aria. dopo la miscelazione con l'aria fresca, si ripetono la depurazione dell'aria e il trattamento di calore e umidità. questo schema può essere suddiviso in uno schema completo di fornitura di aria fresca (sistema a corrente continua); un programma di ritorno aereo; il primo e il secondo schema di ritorno aereo e il programma Mau Plus Ffu sono quattro diversi tipi di fornitura di aria. questo schema di fornitura dell'aria è lo schema di fornitura dell'aria più utilizzato per le camere bianche, in particolare le camere bianche a flusso non unidirezionale. la divisione del sistema di questo schema di alimentazione dell'aria è chiara e il volume e il controllo e la regolazione della temperatura e dell'umidità dell'aria sono singoli. tuttavia, quando il livello di pulizia è più elevato e il volume di alimentazione dell'aria è maggiore, la sala di condizionamento dell'aria occupa una vasta area, il volume della tubazione di mandata e di ritorno dell'aria occupa una vasta area e spazio, la tubazione di mandata e di ritorno dell'aria è a lungo, la pressione residua della ventola di alimentazione dell'aria è elevata, il rumore è grande e l'alimentazione dell'aria consuma una grande quantità di elettricità. pertanto, questo schema di alimentazione dell'aria è più adatto per l'alimentazione dell'aria della camera bianca a flusso non unidirezionale di livello inferiore e meno economico e ragionevole per la fornitura d'aria della camera pulita a flusso unidirezionale sopra il livello 5.

1. schema di fornitura dell'aria di ahu con aria fresca (sistema a corrente continua)

lo schema di fornitura completo di aria di purificazione dell'aria fresca viene utilizzato in speciali schemi di alimentazione dell'aria per camere bianche in cui non è consentita l'aria di ritorno. ad esempio, la produzione di processi in camera bianca è classificata come classe di pericolo di incendio di classe ae classe b oppure il processo produce sostanze altamente tossiche e altre sostanze nocive che non sono autorizzate a restituire aria nel sistema di alimentazione dell'aria pulita.

2. schema di fornitura d'aria del ritorno dell'aria primaria ahu

lo schema di alimentazione dell'aria di ritorno dell'aria primaria viene solitamente utilizzato in camera bianca con elevato potere calorifico o resa di umidità, e la fornitura di aria di calore residuo interno o umidità è maggiore, uguale o vicina alla fornitura di aria di purificazione nel camera bianca a flusso unidirezionale con basso grado di pulizia.

3. schema di alimentazione dell'aria di purificazione aria condizionata con ritorno dell'aria primaria e secondaria ahu

al fine di risparmiare energia, eliminare il calore e il calore dell'aria nel processo di trattamento del calore e dell'umidità compensati reciprocamente, nella camera bianca la capacità di alimentazione dell'aria di purificazione è superiore alla capacità di alimentazione dell'aria del condizionamento d'aria per eliminare il calore e l'umidità residua, è meglio utilizzare il primo e il secondo programma di ritorno dell'aria, il secondo design del punto di miscelazione nel punto di alimentazione dell'aria del sistema, questo lato è il programma più economico di risparmio energetico, il più economico.

4.mau + rau's air supply schema for purification air conditioning

questa soluzione per più pulizia delle camere bianche, temperatura, umidità, requisiti diversi, resa del calore interno e contenuto di umidità sono simili, al fine di garantire che ciascuno dei requisiti di pulizia, temperatura, umidità e precisione delle camere bianche sia impostato unità a più cicli, l'uscita circolare dell'aria dell'unità è per purificare l'uscita dell'aria e, all'interno dell'unità, impostare il calore necessario, l'apparecchiatura di trattamento a umido, utilizzata per integrare la carenza di calore dell'unità di aria fresca, processo a umido e garantire che la pulizia sezione regolazione fine precisione temperatura e umidità ambiente. poiché l'unità di circolazione si trova sul soffitto della camera bianca, la pressione residua dell'alimentazione dell'aria dell'unità di circolazione è relativamente piccola, il volume dell'unità e anche il rumore e le vibrazioni dell'unità sono piccoli e il condotto dell'aria di ritorno è relativamente breve. tuttavia, è necessario prestare attenzione allo scarico della condensa dell'unità di circolazione. le unità di aria fresca in questo schema si trovano nella sala di condizionamento dell'aria e tutta l'aria di rinnovo necessaria per queste camere bianche viene purificata dalle unità di aria fresca (mau) e dal trattamento centralizzato di calore e umidità. viene quindi distribuito a ciascuna unità di ciclo e miscelato con la sua aria di ritorno. il volume di aria fresca dell'unità di aria fresca non dovrebbe solo integrare l'aria di scarico di ogni camera bianca, ma anche garantire la pressione positiva di ciascuna camera bianca. il trattamento termico e dell'umidità dell'unità dell'aria fresca dovrebbe andare al punto di rugiada meccanico dell'aria in una stanza pulita. se il punto di trattamento del calore e dell'umidità dell'aria fresca è inferiore al punto di rugiada meccanico della camera bianca, l'aria fresca non solo sopporterà il carico umido dell'aria fresca stessa, ma eliminerà anche il carico umido della camera bianca. in questo momento, il dispositivo di raffreddamento di superficie nell'unità di circolazione può essere un dispositivo di raffreddamento di superficie asciutto.

lo schema di purificazione della fornitura d'aria e di separazione della fornitura d'aria dalla climatizzazione è di solito chiamato sistema di alimentazione dell'aria semi-centralizzato o decentralizzato. per risparmiare notevolmente il consumo di energia del tempo di funzionamento, eliminerà il calore residuo interno pulito e l'uscita dell'aria condizionata dell'aria umida (di solito è notevolmente inferiore alla stanza pulita per purificare l'uscita dell'aria), dall'unità dell'aria della stanza del condizionatore d'aria (mau) necessaria per purificazione e lavorazione a umido caldo, e il totale dal 50 al 90% della garanzia della purezza della camera bianca per purificare l'uscita dell'aria dalla stanza pulita vicino all'unità di circolazione per purificare e aggiungere la lavorazione a caldo, a umido o utilizzare direttamente la testa sulle unità filtro del ventilatore a soffitto) e bobina secca per risolvere il livello di pulizia della camera bianca e la temperatura della messa a punto. questo schema di alimentazione dell'aria, che è separato dalla fornitura d'aria dall'aria condizionata, non solo può risparmiare energia per il funzionamento, ma anche ridurre notevolmente l'area della sala di condizionamento dell'aria, salvare l'enorme fornitura di aria e la tubazione di ritorno e ridurre l'altezza dello spazio di pulizia camera. tale schema di alimentazione dell'aria di depurazione può essere suddiviso in: unità di condizionamento dell'aria (ahu) aggiungere schema unità filtro ventilatore (ffu), unità di aria fresca (mau) aggiungere unità di ciclo (rau) aggiungere (ffu); unità di aria fresca (mau) + unità filtro ventola (ffu) + tubo freddo secco

(dc) e altri tre schemi di approvvigionamento aereo.

1. schema di fornitura dell'aria delle unità di condizionamento dell'aria ahu (mau) e delle unità di filtraggio del ventilatore (ffu) in questo schema, tutti i carichi di calore e umido del sistema di condizionamento dell'aria (carichi di calore e umido generati nella camera bianca e carichi di calore e umido di aria fresca ) sono a carico delle unità di condizionamento dell'aria situate nella sala di condizionamento dell'aria. in questo momento, la fornitura di aria dell'unità di condizionamento è la fornitura di aria per eliminare il calore e l'umidità residua del sistema (compresa tutta l'aria fresca e un po 'di aria di ritorno, ma molto meno della fornitura di aria di purificazione per garantire la pulizia del camera bianca) e dovrebbe essere in grado di garantire la temperatura e l'umidità relativa costante della camera bianca. la pulizia della camera bianca è assicurata da un'unità di filtro del ventilatore (ffu) sul soffitto della camera bianca che circola e filtra la fornitura di aria purificata. si dovrebbe notare in questo schema che il calore generato durante il funzionamento di ffu dovrebbe essere sostenuto anche dall'unità di condizionamento dell'aria. questo schema è più adatto per camere bianche a flusso misto con flusso unidirezionale verticale parziale in camere bianche a flusso non unidirezionale di grandi dimensioni.

2. unità di aria fresca (mau) più (lui) unità di ciclo e unità di filtro del ventilatore (testa) per purificare lo schema di alimentazione dell'aria di condizionamento dell'aria, questo schema per più pulizia delle camere bianche, temperatura, umidità, requisiti diversi, resa del calore interno e anche il contenuto di umidità è simile, al fine di garantire che ciascuno dei requisiti di pulizia, temperatura, umidità e precisione della camera bianca, per impostare un'unità a più cicli, l'uscita circolare dell'aria dell'unità sia per purificare l'uscita dell'aria e all'interno dell'unità, impostare il necessario calore, apparecchiature per il trattamento a umido, utilizzate per integrare la carenza di calore dell'unità di aria fresca, processo a umido e garantire che la sezione di regolazione fine della temperatura e dell'umidità della stanza pulita. poiché l'unità di circolazione si trova sul soffitto della camera bianca, la pressione residua dell'alimentazione dell'aria dell'unità di circolazione è relativamente piccola, il volume dell'unità e anche il rumore e le vibrazioni dell'unità sono piccoli e il condotto dell'aria di ritorno è relativamente breve. tuttavia, è necessario prestare attenzione allo scarico della condensa dell'unità di circolazione. le unità di aria fresca in questo schema si trovano nella sala di condizionamento dell'aria e tutta l'aria di rinnovo necessaria per queste camere bianche viene purificata dalle unità di aria fresca (mau) e dal trattamento centralizzato di calore e umidità. viene quindi distribuito a ciascuna unità di ciclo e miscelato con la sua aria di ritorno. il volume di aria fresca dell'unità di aria fresca non dovrebbe solo integrare l'aria di scarico di ogni camera bianca, ma anche garantire la pressione positiva di ciascuna camera bianca. il trattamento termico e dell'umidità dell'unità dell'aria fresca dovrebbe andare al punto di rugiada meccanico dell'aria in una stanza pulita. se il punto di trattamento del calore e dell'umidità dell'aria fresca è inferiore al punto di rugiada meccanico della camera bianca, l'aria fresca non solo sopporterà il carico umido dell'aria fresca stessa, ma eliminerà anche il carico umido della camera bianca. in questo momento, il dispositivo di raffreddamento di superficie nell'unità di circolazione può essere un dispositivo di raffreddamento di superficie asciutto.

quando più di uno nella camera bianca ha un elevato livello di purificazione di livello 1, 10, 100 di camera bianca uniflow verticale, al fine di ridurre il carico dell'unità di circolazione (lui) e di inviare e restituire la sezione del condotto dell'aria, la circolazione l'unità risolve solo l'uscita dell'aria condizionata della camera bianca uniflow, per garantire la temperatura della camera bianca, l'umidità relativa e la pressione positiva della camera bianca, e per la maggior parte i conti per oltre il 90% della consegna si trova nel soffitto della camera bianca sulla testa a gravare, per garantire l'alto livello di pulizia della camera bianca. 3. unità di aria fresca (mau) più unità di filtraggio del ventilatore (testa) e tubo freddo secco (cc) del piano di alimentazione dell'aria di purificazione dell'aria condizionata è l'aria fresca sarà l'equipaggio di aria fresca per pulire la stanza calda bagnata rispetto alla linea e l'umidità relativa inferiore alla linea del 95% intersezione, carico di umidità dell'aria fresca dell'equipaggio non sarà solo se stesso, ma anche carico di umidità interna pulita, unità di aria fresca per garantire che l'umidità relativa della camera bianca sia necessaria. il carico di raffreddamento a secco della parte insufficiente del trattamento termico dell'unità di aria fresca sarà integrato dal dispositivo di raffreddamento della superficie asciutta situato sul soffitto della camera bianca (o nel tunnel). poiché il dispositivo di raffreddamento a secco del tavolo si trova sul controsoffitto o nel tunnel attraverso il quale passa l'aria di circolazione ffu, il carico di raffreddamento a secco costituito dal raffreddamento del tavolo a secco viene portato nella stanza pulita dall'aria di circolazione. l'aria fresca trattata dall'unità di aria fresca viene inviata alla cassetta di pressione statica dell'alimentazione dell'aria nella camera bianca per mezzo di condutture che possono essere miscelate più uniformemente con l'aria in circolazione. ffu è sistemato sul soffitto della camera bianca. l'aria circolante miscelata con aria fresca viene filtrata da FFU e inviata alla camera bianca dopo essere stata filtrata dal filtro hepa per garantire la pulizia della camera bianca. le specifiche di ffu sono principalmente 1200mm × 600mm e 1200mm × 1200mm, la cui velocità del vento della sezione dovrebbe essere ≥0,45 m / s, la pressione residua dovrebbe essere ≥120 pa e il rumore dovrebbe essere ≤50db (a). se il volume dell'aria della ventola deve essere regolabile, il filtro ad alta efficienza deve essere sostituibile. la bobina fredda secca è generalmente composta da due file. per ridurre la distanza tra le alette in alluminio della resistenza ≥3mm, la perdita di resistenza dovrebbe essere di 30 ~ 40 pa. la velocità del vento superficiale del vento circolante attraverso la bobina secca è & lt; 2 m / s, ed è meglio essere 1,5 m / s. la temperatura dell'acqua in ingresso nell'acqua fredda della batteria a secco dovrebbe essere 2 ℃ più alta della temperatura del punto di rugiada della camera bianca, di solito indicata come acqua refrigerata media. sebbene sia chiamata bobina a secco, durante il funzionamento iniziale può essere generata della condensa, quindi la batteria a secco dovrebbe avere anche una vaschetta di raccolta condensa e misure di drenaggio.

in questo schema, l'umidità relativa della camera bianca è garantita dall'unità di aria fresca (mau), la temperatura della camera bianca è garantita dalla serpentina a freddo secco e la pulizia della camera bianca è garantita da ffu. la testa mau plus e la purificazione del piano di fornitura dell'aria condizionata in corrente continua, attualmente nel nostro paese e nell'industria microelettronica straniera (ic), nell'industria optoelettronica (tft - lcd, lcd, led, ecc.) e così via nella vasta area, alta l'officina pulita di grado di pulizia diventa ampiamente disponibile, ha una regolazione conveniente, un notevole risparmio energetico, per adattarsi al processo di aggiornamento e risparmiare notevolmente l'area di non produzione e i vantaggi dello spazio di non produzione. inoltre, con il continuo sviluppo e progresso della tecnologia pulita e delle attrezzature pulite, l'efficienza della ventola ffu viene continuamente migliorata, il consumo di energia viene continuamente ridotto e il prezzo complessivo viene continuamente ridotto. l'investimento iniziale è sostanzialmente lo stesso di altri tipi di schemi di fornitura dell'aria, ma i costi operativi sono notevolmente risparmiati.